产品分类

联系我们

  • 地   址:山东省济南市天桥区梓东大道8号中德产业园13号楼A区
  • 电   话:15562450816
  • 联系人:
  • 手   机:15562450816
  • 网   址:www.liguanchina.com
  • 邮   箱:liguan1218@163.com
您现在的位置:首页>>产品展示
立式扩散炉
产品型号:
产品产地:
发布日期:2022-04-26
浏览次数:
咨询电话:15562450816
关 键 词:
下一个产品 上一个产品

详细介绍

设备概述:

l 立式氧化炉是集成电路工艺制程中的一种关键设备。

l 具有污染低、占地面积小、温度均匀、可装载晶圆尺寸大、工艺稳定性高等优点。

l 主要用于初始氧化层、屏蔽氧化层、衬垫氧化层、牺牲氧化层、场氧化层等多种氧化介质层的制备工艺。

设备特点:

n 高洁净度:包括材料、工艺环境等

n 高精度:包括炉内温度、进气流量、排气压力、运动控制等

n 高安全性:包括气体泄漏检测、气流检测、人机互锁等

设备技术指标:

n 晶片类型:6/8英寸

n 工作温度范围:800℃-1150℃

n 恒温区长度:≥860mm

应用范围:

n 广泛用于半导体材料的氧化处理,也可用于推阱、退火、合金、掺杂等工艺。



6
Copyright © 2020- 山东力冠微电子装备有限公司  All Rights Reserved.    备案号:鲁ICP备2020036201号 技术支持:腾云建站仅向商家提供技术服务
友情链接:南通复合铜门 | 盐源玛瑙 | 隔音房 |