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氧化扩散炉
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发布日期:2020-08-21
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详细介绍

扩散/氧化炉设备

产品简介:

l 设备应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件

l 适用6~8英寸的扩散、氧化、退火、合金等工艺

产品特点:

u 关键件全部采用进口件,具有高可靠性。

u 采用高可靠性工业计算机,对炉温、阀门、送料等进行全自动控制,具有高可靠性及抗干扰能力。

u Robot自动传送

u 具有友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态。

u 具有多种工艺管路,可供用户方便选择。

u 具有多种报警功能及安全保护功能。

u 具有强大的软件功能,配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间。

u 恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度(可选择)

u 结构形式:立式/水平热壁式

u 气源供给:

u 液态/固态源扩散

u 干、湿氧化及氢氧合成氧化

u 退火及合金工艺

u 微控或程控方式

u 根据用户要求配置气路


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