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HVPE卧式
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发布日期:2020-08-21
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详细介绍

HVPE(氢化物气相外延设备)

产品简介:

l 主要用于氮化镓(GaN)、氧化镓(Ga2O3)单晶生长

l 以蓝宝石/氧化镓(Ga2O3)等为衬底外延生长氮化镓(GaN)、氧化镓(Ga2O3)厚膜或晶体

产品特点:

u 工业计算机控制系统(WINDOWS系统界面,操作方便简洁)

u 关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性

u 控温精度高,温区控温稳定性好

u 具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能

u 晶体生长均匀性好、重复性高

u 加热控制:多温区

u 衬底可采用旋转方式

u 立式(卧式)结构,合理可靠,满足客户工艺要求


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