产品分类

联系我们

  • 地   址:山东省济南市天桥区梓东大道8号中德产业园13号楼A区
  • 电   话:15562450816
  • 联系人:
  • 手   机:15562450816
  • 网   址:www.liguanchina.com
  • 邮   箱:liguan1218@163.com
您现在的位置:首页>>产品展示
金刚石MPCVD
产品型号:
产品产地:
发布日期:2022-04-26
浏览次数:
咨询电话:15562450816
关 键 词:
下一个产品 上一个产品

详细介绍

设备概述:

l 微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量的金刚石单晶和多晶薄膜。

设备技术指标:

n 使用温度:200-1500℃

n 控温精度:±1℃

n 极限真空:5*10E4Pa

n 气路系统:4路+3路扩展

n 压力范围:7-300Torr

n 微波功率:0.5-10Kw连续可调

n 微波频率:2450MHz±50MHz

n 微波泄露值:<5Mw/cm2

n 放电区域:≥100mm

n 沉积区域:≥80mm

6
Copyright © 2020- 山东力冠微电子装备有限公司  All Rights Reserved.    备案号:鲁ICP备2020036201号 技术支持:腾云建站仅向商家提供技术服务
友情链接:南通复合铜门 | 盐源玛瑙 | 隔音房 |