产品分类

联系我们

  • 地   址:山东省济南市天桥区梓东大道8号中德产业园13号楼A区
  • 电   话:15562450816
  • 联系人:
  • 手   机:15562450816
  • 网   址:www.liguanchina.com
  • 邮   箱:liguan1218@163.com
您现在的位置:首页>>产品展示
碳化硅籽晶粘接设备
产品型号:
产品产地:
发布日期:2022-04-26
浏览次数:
咨询电话:15562450816
关 键 词:
下一个产品 上一个产品

详细介绍

设备概述:

l 籽晶的粘接工艺技术是将碳化硅籽晶用有机胶粘接在石墨托上。提高籽晶粘接质量是保证高品质碳化硅晶体生长的首要前提。

设备特点:

n 晶圆尺寸:6-8英寸

n 温度0-600℃,温度均匀性≤±1%

n 压力:最大力100KN,力均匀性≤±5%

n 高真空室,真空(可低至10-4Pa)

n 压头:波纹管充气

n 腔室采用前开门、方便取放(取放片为人采用真空吸笔或者镊子等工具机械取放,不需要自动取放)



6
Copyright © 2020- 山东力冠微电子装备有限公司  All Rights Reserved.    备案号:鲁ICP备2020036201号 技术支持:腾云建站仅向商家提供技术服务
友情链接:南通复合铜门 | 盐源玛瑙 | 隔音房 |