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石墨烯卷对卷设备
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发布日期:2022-04-26
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详细介绍

主要特点:

石墨烯薄膜产业化设备

宽幅卷对卷连续生长

APC系统;真空蝶阀自动控制

碳源等工艺气体MFC控制

薄膜制备过程全自动控制

三腔室结构

主要参数:

工作温度:800-1050℃

恒温区:1000mm、五段控温

工艺管材质:石英管

工艺管内径:Φ550mm

铜箔宽度:500mm

铜箔运行速度约:100-400mm/min,可调

极限真空度:小于3Pa,可恒压控制


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