
扩散/氧化炉设备
产品简介:
l 设备应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件
l 适用6~8英寸的扩散、氧化、退火、合金等工艺
产品特点:
u 关键件全部采用进口件,具有高可靠性。
u 采用高可靠性工业计算机,对炉温、阀门、送料等进行全自动控制,具有高可靠性及抗干扰能力。
u Robot自动传送
u 具有友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态。
u 具有多种工艺管路,可供用户方便选择。
u 具有多种报警功能及安全保护功能。
u 具有强大的软件功能,配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间。
u 恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度(可选择)
u 结构形式:立式/水平热壁式
u 气源供给:
u 液态/固态源扩散
u 干、湿氧化及氢氧合成氧化
u 退火及合金工艺
u 微控或程控方式
u 根据用户要求配置气路