扩散/氧化炉设备

产品简介：

l 设备应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件

l 适用6~8英寸的扩散、氧化、退火、合金等工艺

产品特点：

u 关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

u 采用高可靠性工业计算机，对炉温、阀门、送料等进行全自动控制，具有高可靠性及抗干扰能力。

u Robot自动传送

u 具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态。

u 具有多种工艺管路，可供用户方便选择。

u 具有多种报警功能及安全保护功能。

u 具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间。

u 恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度（可选择）

u 结构形式：立式/水平热壁式

u 气源供给：

u 液态/固态源扩散

u 干、湿氧化及氢氧合成氧化

u 退火及合金工艺

u 微控或程控方式

u 根据用户要求配置气路