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石墨烯cvd炉
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发布日期:2020-08-21
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详细介绍

石墨烯CVD炉:

产品简介:

本系统是一套完备的石墨烯制备系统,包括硬件和软件部分。工作在常压气氛或真空条件,通过控制,既可以生长出六边形的石墨烯单晶,也可以生长出花瓣状的石墨烯的单晶。

产品特点:

u 采用单腔室或双腔室结构

u 取料腔室快速冷却

u 该系统主要由电控系统、样品加热系统、工艺腔室系统、取放料腔室系统、真空系统、气路系统、压力控制系统等组成。

u 结构型式:卧式,间歇连续式自动控制

u 适应材料规格:A3尺寸

u 装片量:200

u 工作压力连续可调


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